真空溅射镀膜掉膜的主要问题

如此看来你的溅镀机上是没有实时监控膜厚系统,那没有太好的办法,只能通过溅镀一定厚度后测量,根据镀膜时间推算溅镀速率.不过要注意的是可能你做的厚度不一样最后测出来的速率是有一些偏差的,比如你镀50nm,

增透膜

Thepreparationofmetalfilmanditscharacteristicsalreadyisthemicroelectronicsandmaterialsscienceasanimp

测量磁控靶的绝缘最好用兆欧表,1000V兆欧表就够了,因为磁控靶在工作时,电压是很高的,你用万用表测量的绝缘度够,但是实际使用时由于阴阳极之间的电压高,所以绝缘度就不够了.所以测量靶阴极和壳体以及悬浮

ITO的靶基距在100-200mm之间最好,用中频时靶基距应该更小.靶基距和当时的真空度、靶的尺寸、靶电流和表面温度等有关,不可一概而论.再问：靶基距一般都是100mm范围内最好，怎么你的数据会那么大

主要原因不是功率,而是铝靶在空气暴露时（即使充气的一瞬间）迅速被氧化,氧化铝的溅射产额非常低,需要将这层氧化铝清除完毕后,才到溅射纯铝的状态,电压才会正常,这个过程就是常说的洗靶.纯铝氧化速度很快,如

有一般至少可以放两个这要看你的镀膜机的真空罩的大小之后没有溅射的相干就可以了

真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射.真空蒸发镀膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中,用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度,使材料中分子或原子的热振动能量超过表面的束缚

南玻的?幸会.膜面放电属于常见问题,其原因是等离子体导电现象严重,放点区域较大.根据磁控溅射镀膜情况可以分为：1.基体距离靶材较近,（此类情况基本可以排除,一般来说距离超过15厘米就没有多大问题）2.

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不同的颜色,用不同的工艺和不同的耙材,比如常见的枪色,我们一般选择用钛耙或者铬耙,钛耙做出来的颜色老,铬耙做出来的颜色嫩,黑色的我们一般用钛柱耙或者铬柱耙.如果膜层出来掉色的现象,第一个分析工艺是否正

能还能镀出跟镜子一样的颜色（水银色）种类繁多.镀膜机不是为镀什么颜色而工作它是目的是通过镀了模的镜片改变光的透过性等等具体的不懂略知皮毛.干过这行一段时间.

看你问的是什么玻璃了.汽车玻璃?光学镜片?建筑玻璃?不同的玻璃镀膜是不一样的.

有的时候新扩散泵油需要多用几次真空度才会有所提高.检查一下新加的扩散泵油油量和型号与所用扩散泵是否相符.检查一下高真空规管是否被油蒸汽污染（换一只新规管试一下）以及规管连线部分是否正常.检查一下前级真

真空电镀膜有两种方式：一种是蒸发舟式,采用电加热,让纯度99.99%铝丝在蒸发舟表面蒸发,铝蒸汽喷射到膜面,形成镀铝膜.另一种是坩锅式,采用中频加热的方式,将锅中的铝锭加热形成铝蒸汽,形成镀铝膜.真空

磁控溅射镀膜机的加热部分叫加热器,形状有很多种,都是外面是不锈钢管,里面有钨丝和石英,通过控制电流大小来控制加热的温度.

Lab色彩模型是由照度（L）和有关色彩的a,b三个要素组成.L表示照度（Luminosity）,相当于亮度,a表示从洋红色至绿色的范围,b表示从黄色至蓝色的范围.L的值域由0到100,L=50时,就相

溅射比蒸镀和工作真空低一个数量级,所以膜层的含气量要比蒸镀高.蒸镀不适用于高溶点材料,如钼,钨,等.因为溶点高,蒸发太慢,而溅射的速度比蒸镀快很多.溅射不适用于低硬度材料,如非金属材料.溅射不适用于非

显然,你这是因为膜厚不同造成的.影响膜厚的因素有很多.除了你考虑到的抽气以外,还有工艺气体分布、靶基距、磁场密度分布等等.你可以先尝试是否能够通过调整气体分布,或靶基距,来达到要求.

你好!用于平板玻璃镀膜的溅射沉积真空工艺有好多,镀CrN.TiN.TiAlCN.TiCN.TiAlN.金色、黄铜色、玫瑰金色、银白色、黑色、烟灰色紫铜色、棕色、紫色、蓝色、酒红色、古铜色等颜色,并能根