在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

来源：学生作业帮编辑：百度作业网作业帮分类：综合作业时间：2024/06/15 21:52:22

在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.

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