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真空泵为什么要用氮气?是有4个罗茨泵加一个助力泵的真空泵组

来源:学生作业帮 编辑:百度作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/05/04 20:53:21
真空泵为什么要用氮气?是有4个罗茨泵加一个助力泵的真空泵组
是真空镀膜的机组 但是墙体里通的氮气和泵用的是分开的.
真空泵为什么要用氮气?是有4个罗茨泵加一个助力泵的真空泵组
抽腐蚀性气体的泵会用到氮气,氮气对泵进行吹扫,延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀.
应该是真空镀膜工艺中用到的一些气体对泵有腐蚀作用,所以会采用这种泵.